[發明專利]基于調制射頻的動態等離子體產生裝置有效
| 申請號： | 201610693642.3 | 申請日： | 2016-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN106231772B | 公開（公告）日： | 2020-07-17 |
| 發明（設計）人： | 李小平;雷凡;劉彥明;劉東林;謝楷;白博文 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 西安知誠思邁知識產權代理事務所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 麥春明 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 調制 射頻 動態 等離子體 產生 裝置 | ||
【權利要求書】：
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