[發明專利]半導體結構以及半導體結構的形成方法在審
| 申請號： | 201610692196.4 | 申請日： | 2016-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN106430078A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 趙波 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02;B81C1/00;H01L21/82;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 高靜;吳敏 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 結構 以及 形成 方法 | ||
【說明書】：
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