[發(fā)明專利]一種光柵尺定位分配精度補償的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610692004.X
• 申請日: 2016-08-18
• 公開（公告）號: CN106289058B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 張芳健;王晗;陳新;黃明輝;李彬;廖劍祥
• 申請（專利權）人: 廣東工業(yè)大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 廣東廣信君達律師事務所 44329
• 代理人: 楊曉松

1.一種光柵尺定位分配精度補償的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.先在直線電機的行程范圍內設定N個預置點，設定后直線電機回零，然后光柵尺測量值清零，激光干涉儀測量值清零；

S2.直線電機運動至該N個預置點中的某個預置點，并記錄激光干涉儀測量值和光柵尺測量值；

S3.以激光干涉儀測量值為基準，將激光干涉儀測量值和光柵尺測量值相減獲得兩者間的誤差值；

S4.對同一預置點重復m次上述過程，求出該同一預置點在m次測試中的光柵尺測量值的平均值Xi以及誤差值平均值σi；

S5.重復上述過程，分別獲得該N個預置點處的光柵尺測量值的平均值Xi以及誤差值平均值σi，繪出Xi-σi坐標分布圖；

S6.對S5中獲得的Xi-σi坐標分布圖進行線性擬合，得到線性誤差補償直線，其中該線性誤差補償直線的線性表達式為σ＝kx+a，其中σ為線性誤差值，x為原始光柵尺測量值，k為直線斜率，a為線性系數；然后根據公式y1＝x-σ,獲得補償線性誤差后的光柵尺測量值，其中y1為補償線性誤差后的光柵尺測量值，x為原始光柵尺測量值，σ為線性誤差值；

S7.將每個預置點的在m次測試中獲取的誤差值與其對應的線性誤差值σ相減獲取局部誤差θi，根據某點的局部誤差θi以及其對應的光柵尺測量值x，繪出θi-x坐標分布圖；

S8.對S7中獲得的θi-x坐標分布圖進行高次函數擬合，獲得擬合函數θ＝anxn+an-1xn-1+…+ax+b，然后根據公式y2＝y1-θ計算補償局部誤差后的光柵尺測量值，其中y2為補償局部誤差后的光柵尺測量值，y1為補償線性誤差后的測量值，θ為局部誤差。

2.根據權利要求1所述的一種光柵尺定位分配精度補償的方法，其特征在于：設定以所述S1中的每個預置點為中心的領域其中S為該預置點的值，為設定的常數；當直線電機運動至預置點的附近區(qū)域Si內時，執(zhí)行S1至S8進行線性誤差補償和局部誤差補償；當直線電機沒有運動至預置點的附近區(qū)域Si內時，僅執(zhí)行S1至S6進行線性誤差補償。