[發明專利]一種鉬合金鈦酸鋇薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201610690531.7 | 申請日： | 2016-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN106191776A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 蘇州思創源博電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215009 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 鈦酸鋇 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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