[發(fā)明專利]用于改善在晶片極端邊緣的特征輪廓傾斜的邊緣環(huán)組件在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610687047.9 | 申請日： | 2016-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN106469637A | 公開（公告）日： | 2017-03-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 威廉·博世;拉杰什·多來;塔馬拉卡·潘達姆所樸恩;布雷特·理查森;詹姆斯·維特爾;帕特里克·鐘 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所31263 | 代理人： | 樊英如,張華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 改善 晶片 極端 邊緣 特征 輪廓 傾斜 組件 | ||
【說明書】：
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