[發明專利]對位方法及對位系統有效
| 申請號： | 201610682413.1 | 申請日： | 2016-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN106054543B | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發明（設計）人： | 王輝;王志強;張力舟;高琪;申洋;李明龍;王強 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陳源 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 對位 方法 系統 | ||
【說明書】：
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