[發明專利]薄膜晶體管及其制作方法有效
| 申請號： | 201610681586.1 | 申請日： | 2016-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN106328715B | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 林欽遵 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/41;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜晶體管 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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