[發明專利]FinFET隔離結構及其制造方法有效
| 申請號： | 201610680208.1 | 申請日： | 2016-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN106684116B | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發明（設計）人： | 張哲誠;林志翰;曾鴻輝 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/06 | 分類號： | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | finfet 隔離 結構 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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