[發明專利]一種光電檢測裝置、方法和光刻膠涂覆設備有效
| 申請號： | 201610675863.8 | 申請日： | 2016-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN106198397B | 公開（公告）日： | 2020-01-03 |
| 發明（設計）人： | 齊發;徐海濤;劉超;錢娟娟;彭亮亮;歐陽欠;江濤 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/17 | 分類號： | G01N21/17;G03F7/16 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世達專利商標代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光電 檢測 裝置 方法 光刻 膠涂覆 設備 | ||
【權利要求書】：
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