[發明專利]銅靶材的處理方法在審
| 申請號： | 201610675428.5 | 申請日： | 2016-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN107761064A | 公開（公告）日： | 2018-03-06 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;李健成 | 申請（專利權）人： | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 高靜,吳敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站區東方大道與大禹路*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 銅靶材 處理 方法 | ||
1.一種銅靶材的處理方法，其特征在于，包括：
提供具有濺射面的銅靶材；
采用異丙醇溶液或者丙酮溶液，對所述銅靶材濺射面進行沖洗處理。
2.如權利要求1所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，在所述沖洗處理中，對所述濺射面進行沖洗的壓力為0.5Mpa～0.8Mpa。
3.如權利要求1所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述異丙醇溶液中，異丙醇質量濃度大于或等于99.5％。
4.如權利要求1或3所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述異丙醇溶液中，異丙醇質量濃度為99.99％。
5.如權利要求1所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述丙酮溶液中，丙酮質量濃度大于或等于99％。
6.如權利要求1所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，在進行所述沖洗處理之后，還包括步驟：對所述銅靶材進行真空包裝。
7.如權利要求6所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，進行所述真空包裝的步驟包括：提供包裝袋；向所述包裝袋內充氬氣；將所述銅靶材置于所述包裝袋內；對所述包裝袋進行抽真空處理。
8.如權利要求6所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，在進行所述沖洗處理之后、進行真空包裝之前，還包括：采用惰性氣體，對所述銅靶材濺射面進行吹干處理。
9.如權利要求8所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣或氦氣。
10.如權利要求8所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述吹干處理中，惰性氣體流量為1sccm～500sccm。
11.如權利要求8所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，在進行所述吹干處理之后、進行真空包裝之前，還包括：在所述銅靶材濺射面上粘附保護膜。
12.如權利要求11所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述保護膜為藍膜或UV膜。
13.如權利要求1所述的銅靶材的處理方法，其特征在于，所述銅靶材為純銅靶材或銅合金靶材。
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