[發(fā)明專利]一種由三氯氫硅生產(chǎn)高純硅烷的系統(tǒng)及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610674885.2 | 申請日： | 2016-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN106241813B | 公開（公告）日： | 2021-01-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李學剛;肖文德 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | C01B33/04 | 分類號： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 上海旭誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31220 | 代理人： | 鄭立 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三氯氫硅 生產(chǎn) 高純 硅烷 系統(tǒng) 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海交通大學，未經(jīng)上海交通大學許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610674885.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：制備硅納米材料的方法
- 下一篇：一種選區(qū)自蔓延合成二硅化鉬粉體的方法
- 生產(chǎn)系統(tǒng)和生產(chǎn)方法
- 生產(chǎn)設備和生產(chǎn)方法
- 生產(chǎn)系統(tǒng)及產(chǎn)品生產(chǎn)方法
- 生產(chǎn)藥品的生產(chǎn)線和包括該生產(chǎn)線的生產(chǎn)車間
- 生產(chǎn)輔助系統(tǒng)、生產(chǎn)輔助方法以及生產(chǎn)輔助程序
- 生產(chǎn)系統(tǒng)、生產(chǎn)裝置和生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法
- 石料生產(chǎn)機制砂生產(chǎn)系統(tǒng)
- 生產(chǎn)系統(tǒng)以及生產(chǎn)方法
- 生產(chǎn)系統(tǒng)及生產(chǎn)方法
- 生產(chǎn)系統(tǒng)和生產(chǎn)方法
