[發(fā)明專利]一種基板檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610667660.4 | 申請日： | 2016-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN106198570B | 公開（公告）日： | 2019-02-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 游鎮(zhèn)滔 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/958 | 分類號： | G01N21/958;G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 鐘子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
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