[發明專利]室溫濺射沉積柔性AZO透明導電薄膜的方法在審
| 申請號: | 201610665926.1 | 申請日: | 2016-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN106119778A | 公開(公告)日: | 2016-11-16 |
| 發明(設計)人: | 王新昌;閆震;郭松昌;萬志剛;丁萬勇;李光輝;劉國龍 | 申請(專利權)人: | 河南安彩高科股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/08 | 分類號: | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司: | 鄭州立格知識產權代理有限公司 41126 | 代理人: | 王暉 |
| 地址: | 455000*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 室溫 濺射 沉積 柔性 azo 透明 導電 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】:
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