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[發明專利]室溫濺射沉積柔性AZO透明導電薄膜的方法在審

專利信息
申請號: 201610665926.1 申請日: 2016-08-15
公開(公告)號: CN106119778A 公開(公告)日: 2016-11-16
發明(設計)人: 王新昌;閆震;郭松昌;萬志剛;丁萬勇;李光輝;劉國龍 申請(專利權)人: 河南安彩高科股份有限公司
主分類號: C23C14/08 分類號: C23C14/08;C23C14/35
代理公司: 鄭州立格知識產權代理有限公司 41126 代理人: 王暉
地址: 455000*** 國省代碼: 河南;41
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 室溫 濺射 沉積 柔性 azo 透明 導電 薄膜 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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