[發明專利]利用介質薄膜控制Otto結構中空氣隙厚度的方法有效
| 申請號: | 201610664021.2 | 申請日: | 2016-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN106091954B | 公開(公告)日: | 2018-12-25 |
| 發明(設計)人: | 曾愛軍;谷利元;胡國行;黃惠杰;賀洪波 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號: | G01B11/06 | 分類號: | G01B11/06;B82Y35/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 張澤純;張寧展 |
| 地址: | 201800 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 利用 介質 薄膜 控制 otto 結構 空氣 厚度 方法 | ||
【說明書】:
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