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[發明專利]利用介質薄膜控制Otto結構中空氣隙厚度的方法有效

專利信息
申請號: 201610664021.2 申請日: 2016-08-12
公開(公告)號: CN106091954B 公開(公告)日: 2018-12-25
發明(設計)人: 曾愛軍;谷利元;胡國行;黃惠杰;賀洪波 申請(專利權)人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
主分類號: G01B11/06 分類號: G01B11/06;B82Y35/00;B82Y40/00
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 張澤純;張寧展
地址: 201800 上海*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 利用 介質 薄膜 控制 otto 結構 空氣 厚度 方法
【說明書】:
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