[發明專利]一種納米位移臺六自由度校準裝置在審
| 申請號： | 201610657239.5 | 申請日： | 2016-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN106052570A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 施玉書;高思田;李慶賢;王興旺;李偉;李琪;李適;王鶴群;皮磊;張樹;郭鑫;沈飛 | 申請（專利權）人： | 中國計量科學研究院 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京細軟智谷知識產權代理有限責任公司 11471 | 代理人： | 王淑玲 |
| 地址： | 100000 北京市朝陽區北三環*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 位移 自由度 校準 裝置 | ||
【權利要求書】：
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