[發明專利]制造復合微機械電容式超聲換能器的微加工工藝在審
| 申請號： | 201610655181.0 | 申請日： | 2016-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN106315506A | 公開（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發明（設計）人： | 張培玉;李妍;敖天勇;高尚 | 申請（專利權）人： | 河南大學 |
| 主分類號： | B81C3/00 | 分類號： | B81C3/00;B06B1/02 |
| 代理公司： | 鄭州聯科專利事務所(普通合伙)41104 | 代理人： | 劉建芳 |
| 地址： | 475001*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 復合 微機 電容 超聲 換能器 加工 工藝 | ||
【權利要求書】：
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