[發明專利]高純度多晶硅片的制備方法有效
| 申請號： | 201610652406.7 | 申請日： | 2016-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN106350865B | 公開（公告）日： | 2018-11-02 |
| 發明（設計）人： | 王勇 | 申請（專利權）人： | 浙江恒都光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/04 | 分類號： | C30B28/04;C30B29/06;C30B33/00 |
| 代理公司： | 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 鄭文濤 |
| 地址： | 314416 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 純度 多晶 硅片 制備 方法 | ||
【說明書】：
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