[發明專利]毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法、裝置和玻璃清洗設備

有效

• 申請號: 201610652088.4
• 申請日: 2016-08-10
• 公開（公告）號: CN106269756B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 張楊揚;賈丹
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B13/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，應用于玻璃清洗設備，所述玻璃基板包括相對設置的第一側邊和第二側邊以及相對設置的第三側邊和第四側邊，所述玻璃基板的滾動方向為從第一側邊向第二側邊，其特征在于，所述毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法包括：

壓力感應條設置步驟：在所述玻璃基板的第一底面上設置多個相互絕緣的壓力感應條；所述壓力感應條的延伸方向為從第一側邊向第二側邊，多個所述壓力感應條依次從第三側邊向第四側邊排列；所述壓力感應條的電阻隨著該壓力感應條受到壓力的大小而改變；

支撐力控制步驟：控制所述玻璃基板未設置有所述壓力感應條的第二底面受到的支撐力與預定支撐力之間的差別在預定范圍內，并控制所述玻璃基板的第二底面下方的支撐點的設置位置為預定位置；

壓阻靈敏系數計算步驟：檢測每個所述壓力感應條未受到壓力時的電阻值；在每個所述壓力感應條的預定位置施加垂直于所述玻璃基板的第一底面的相同大小的壓力，并檢測每個所述壓力感應條的受力電阻值，根據所述壓力的壓力值、每個所述壓力感應條未受到壓力時的電阻值和每個所述壓力感應條的受力電阻值計算得出每個壓力感應條的壓阻靈敏系數；

壓力值檢測步驟：當所述玻璃基板被放置于所述玻璃清洗設備中時，檢測每個所述壓力感應條的實時受力電阻值，根據所述壓阻靈敏系數、每個所述壓力感應條未受到壓力時的電阻值和每個所述壓力感應條的受力電阻值計算得出每個所述壓力感應條受到的壓力值。

2.如權利要求1所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，所述壓力感應條包括半導體薄膜條；

所述壓力感應條設置步驟包括：在所述玻璃基板的第一底面上設置半導體薄膜層；所述半導體薄膜層的厚度在預定厚度范圍內；

對所述半導體薄膜層進行刻蝕從而形成多個所述半導體薄膜條。

3.如權利要求2所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，所述對所述半導體薄膜層進行刻蝕從而形成多個所述半導體薄膜條步驟包括：

通過光刻工藝，采用干法刻蝕的方法對所述半導體薄膜層進行刻蝕，從而形成多個所述半導體薄膜。

4.如權利要求3所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，當所述半導體薄膜層為納米硅薄膜層時，用于干法刻蝕的刻蝕氣體采用CF₄。

5.如權利要求1所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，所述壓力感應條包括金屬應變片；

所述壓力感應條設置步驟包括：將多個所述金屬應變片黏貼至所述玻璃基板的第一底面上。

6.如權利要求1所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，在所述壓力感應條設置步驟和所述壓阻靈敏系數計算步驟之間還包括：在所述多個壓力感應條上設置一層保護蓋層，所述保護蓋層能夠彎曲并能夠傳遞應變。

7.如權利要求1至4中任一權利要求所述的毛刷與玻璃基板之間壓力檢測方法，其特征在于，所述壓阻靈敏系數計算步驟還包括：

在每個所述壓力感應條的兩端分別設置金屬電極；

在設置于所述壓力感應條兩端的兩金屬電極之間設置直流電壓源和電流檢測單元；

所述檢測每個所述壓力感應條未受到壓力時的電阻值步驟包括：

所述電流檢測單元檢測每個所述壓力感應條未受到壓力時的電流值；

根據該直流電壓源輸出的直流電壓和所述壓力感應條未受到壓力時的電流值計算得到所述壓力感應條未受到壓力時的電阻值；

所述檢測每個所述壓力感應條的受力電阻值步驟包括：

所述電流檢測單元檢測每個所述壓力感應條受到壓力時的電流值；

根據該直流電壓源輸出的直流電壓和所述壓力感應條受到壓力時的電流值計算得到所述壓力感應條受到壓力時的電阻值。