[發(fā)明專利]一種氧化鎵單晶用的研磨墊及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610649903.1
• 申請日: 2016-08-10
• 公開（公告）號: CN106272035B
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設計）人: 黃傳錦;周海;顧斌;徐曉明;龔凱
• 申請（專利權）人: 鹽城工學院
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.一種氧化鎵單晶用的研磨墊，其特征在于，由下而上依次包括研磨墊布基（1）和混合磨粒膠層（2），所述混合磨粒膠層（2）由樹脂膠、磨料與水溶性研磨助劑混合而成；所述研磨墊布基（1）為真絲彈力雙喬或彈力素縐緞；所述水溶性研磨助劑由賦形劑、界面活性劑和增稠劑混合而成；所述研磨墊的制備方法, 包括以下步驟：步驟1，選研磨墊布基；步驟2，按照質量分數(shù)計稱取樹脂膠25%-40%、磨料5%-10%、水溶性研磨助劑30%-40%、余量為去離子水；步驟3，將上述材料組分按合適比例稱取，依次加入樹脂膠、研磨助劑和磨料、去離子水攪拌均勻得第一混合物；步驟4，將第一混合物均勻噴涂于研磨墊布基表面，獲得研磨墊半成品；步驟5，將研磨墊半成品烘干即得成品研磨墊；所述步驟4中研磨層的厚度為2-8微米。

2.根據(jù)權利要求1所述的氧化鎵單晶用的研磨墊，其特征在于，所述樹脂膠由水溶性丙烯酸聚合物樹脂混合水性芳香族聚氨酯樹脂或水乳液型聚氨酯樹脂中一種或兩種。

3.根據(jù)權利要求1所述的氧化鎵單晶用的研磨墊，其特征在于，所述磨料為金剛石微粉，粒徑為0.5-3微米。

4.根據(jù)權利要求1所述的氧化鎵單晶用的研磨墊，其特征在于,所述賦型劑為山梨糖醇、丙三醇、聚乙二醇PEG-200、聚乙二醇PEG-400、聚乙二醇PEG-600、聚乙二醇800、聚乙二醇1000、聚乙二醇-1500、PEG-2000、PEG-3000、聚丙二醇、聚甘油-10或脂肪酸單甘油酯中的任意一種或幾種混合而成；所述界面活性劑為脂肪酰胺磺基琥珀酸單酯、N-月桂酰基肌氨酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸銨、脂肪醇聚氧乙烯醚磺基琥珀酸單酯二鈉、脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚磺酸鈉、二辛基磺基琥珀酸二鈉、二-2-乙基己基磺基琥珀酸鈉、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸鉀、十二烷基苯硫酸鹽、α- 烯烴磺酸鹽、木質素磺酸鹽、全氟丁烷磺酸鹽、直鏈脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯醚、聚氧乙烯脫水山梨醇單油酸酯、異構十碳醇聚氧乙烯醚、異構十三碳醇聚氧乙烯醚或硬脂酸甲酯聚氧乙烯醚中的任意一種或幾種混合而成；所述增稠劑可以是羧甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥丙基甲基纖維素卡拉膠、黃原膠、羥丙基瓜爾膠、卡波姆等中的任意一種或幾種混合而成。

5.根據(jù)權利要求1所述的氧化鎵單晶用的研磨墊，其特征在于, 步驟5中烘干溫度為80-120℃。