[發明專利]一種半導體設備及其制作方法在審
| 申請號： | 201610646333.0 | 申請日： | 2016-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN106057746A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 李學良;西里奧艾珀里亞科夫 | 申請（專利權）人： | 四川洪芯微科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/29 | 分類號： | H01L23/29;H01L21/56 |
| 代理公司： | 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 趙衛康 |
| 地址： | 629200 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體設備 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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