[發明專利]一種三明治式柔性電容式壓力傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201610644815.2 | 申請日： | 2016-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN106098927B | 公開（公告）日： | 2019-11-15 |
| 發明（設計）人： | 何健;郭維;楚亞春;程丁儒 | 申請（專利權）人： | 江蘇艾倫摩爾微電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/047 | 分類號： | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/27 |
| 代理公司： | 32224 南京縱橫知識產權代理有限公司 | 代理人： | 母秋松;董建林<國際申請>=<國際公布> |
| 地址： | 215300江蘇省蘇州市昆山*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三明治 柔性 電容 壓力傳感器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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