[發(fā)明專利]一種噴淋設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610644531.3
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN106249552B
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 施杰;邢磊
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44280
• 代理人: 袁江龍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種噴淋設(shè)備。

背景技術(shù)

CF Wet設(shè)備(濕式設(shè)備)，如Cleaner(清洗機)用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除粒子(Particle)和有機物等臟污，Develop(顯影機)用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剝離，以形成所需的pattern(圖案)。

請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種噴淋管的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖1所示，Wet設(shè)備的噴淋管10工作原理如下：

藥液或水13以一定壓力供給至噴淋管11，通過噴淋管11上的噴嘴14噴淋在玻璃基板(圖未示)表面。噴嘴14的設(shè)計，使液體噴出呈一定角度的扇形，保證其在玻璃基板表面均勻噴淋。

液體均勻噴灑在基板表面，是保證基板表面橫向制程能力均等的重要條件。例：Cleaner設(shè)備某噴嘴14分叉時，可能造成此處particle數(shù)偏高，整片基板形成縱向一列particle集中偏高。

生產(chǎn)過程中，Wet設(shè)備發(fā)生制程不良時，需要調(diào)查是否是因為噴嘴14噴淋不均勻造成，噴嘴14噴淋的角度是否為最佳，噴嘴14噴淋造成不良位置的坐標(biāo)在哪。

由于現(xiàn)有的噴淋管11為固定式設(shè)設(shè)，造成如下不便

1、無法實現(xiàn)噴嘴14在基板上噴淋位置的移動；

2、無法實現(xiàn)噴嘴14噴淋與基板的夾角調(diào)節(jié)；

3、無法直觀顯示噴嘴14噴淋處在基板的坐標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種噴淋設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中無法實現(xiàn)噴嘴在基板上噴淋位置的移動、無法實現(xiàn)噴嘴噴淋與基板的夾角調(diào)節(jié)以及無法直觀顯示噴嘴噴淋處在基板的坐標(biāo)的技術(shù)問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：提供一種噴淋設(shè)備，所述噴淋設(shè)備包括：

外管；

內(nèi)管，設(shè)于所述外管內(nèi)，所述內(nèi)管設(shè)有多個噴嘴；

其中，所述內(nèi)管可相對所述外管進(jìn)行軸向調(diào)節(jié)和徑向調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述噴淋設(shè)備還包括轉(zhuǎn)接頭，所述轉(zhuǎn)接頭與所述外管連接，用于將液體傳輸給所述內(nèi)管。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述外管設(shè)有軸向開槽，所述軸向開槽設(shè)有軸向刻度。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述軸向開槽上進(jìn)一步設(shè)有坐標(biāo)槽，所述坐標(biāo)槽上設(shè)有坐標(biāo)尺。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述外管還設(shè)有徑向開槽，所述徑向開槽設(shè)有徑向刻度。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述內(nèi)管上設(shè)有軸向中心標(biāo)示線，所述內(nèi)管與所述外管裝配時，所述軸向中心標(biāo)示線位于所述坐標(biāo)槽內(nèi)，并與所述坐標(biāo)尺對齊。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述內(nèi)管上還設(shè)有調(diào)節(jié)柄，所述內(nèi)管與所述外管裝配時，所述調(diào)節(jié)柄位于所述徑向開槽內(nèi)，用于進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述內(nèi)管上還設(shè)有徑向中心標(biāo)識線，所述徑向中心標(biāo)識線自所述調(diào)節(jié)柄延伸并與所述徑向刻度對齊。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述噴淋設(shè)備還包括防松螺絲，所述防松螺絲在所述內(nèi)管與所述外管裝配時貫穿螺接在所述外管上，用于抵接壓緊所述內(nèi)管。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述外管與所述內(nèi)管之間設(shè)有密封圈。

本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的噴淋設(shè)備極大地提高了實用性和靈活性，利于進(jìn)行設(shè)備調(diào)整、不良分析和工程實驗，同時極大地提高了工程效率，減少了噴淋不良，提高了工藝良率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種噴淋管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明一優(yōu)選實施例提供的噴淋設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是圖2中所示的噴淋設(shè)備的外管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是圖2中所示的噴淋設(shè)備的內(nèi)管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是圖2中所示的噴淋設(shè)備進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)的示意圖；

圖6是圖2中所示的噴淋設(shè)備外管和內(nèi)管的固定方式的示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。