[發明專利]一種LTPS/IGZO玻璃基板破洞快速檢測方法有效
| 申請號： | 201610635299.7 | 申請日： | 2016-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN106198569B | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發明（設計）人： | 程良倫;林嘉華;王濤 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | G01N21/958 | 分類號： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 廣東廣信君達律師事務所 44329 | 代理人： | 楊曉松 |
| 地址： | 510062 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ltps igzo 玻璃 破洞 快速 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
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