[發明專利]相鄰面雙分立電極分布式的微陀螺儀及其制備方法有效
| 申請號: | 201610635034.7 | 申請日: | 2016-08-04 |
| 公開(公告)號: | CN106248068B | 公開(公告)日: | 2020-05-08 |
| 發明(設計)人: | 張衛平;歐彬;劉朝陽;唐健;孫殿竣;邢亞亮;魏志方;崔峰;趙萬良;成宇翔;劉瑞鑫 | 申請(專利權)人: | 上海交通大學 |
| 主分類號: | G01C19/5691 | 分類號: | G01C19/5691 |
| 代理公司: | 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236 | 代理人: | 徐紅銀;郭國中 |
| 地址: | 200240 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 相鄰 分立 電極 分布式 陀螺儀 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】:
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