[發明專利]堆疊式電容結構

有效

• 申請號: 201610633299.3
• 申請日: 2016-08-04
• 公開（公告）號: CN107689371B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 黃凱易;林圣纮;簡育生;葉達勛
• 申請（專利權）人: 瑞昱半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L27/06
• 分類號: H01L27/06;H01L29/94;H01L23/64
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;王芝艷

1.一種堆疊式電容結構，包含：

一金氧半變容器，包含：

一基板，具有一阱區；

一柵極，位于該阱區上；以及

一第一源/漏極與一第二源/漏極，分別形成于該阱區中，位于該柵極的相對兩側；以及

一堆疊電容器，電性連接該金氧半變容器，其中該堆疊電容器包含多個金屬層，彼此相間隔地堆疊于該柵極的上方，且位于一電感性元件的下方；

其中任一該金屬層的圖案包含多個梳狀結構單元，呈對稱排列，每一該梳狀結構單元包含：

多個金屬條，彼此間平行排布；以及

一金屬連接件，連接該些金屬條，其中該些金屬條的長度沿著該金屬連接件的中央處向兩側遞減；

其中該些梳狀結構單元的數量為四個，每一該梳狀結構單元的該些金屬條中最長的金屬條從其連接的該金屬連接件的中央延伸至該圖案的中心處，且該些梳狀結構單元中該些最長的金屬條于該中心處連接，而該些梳狀結構單元中的其余金屬條的末端互不相連。

2.一種堆疊式電容結構，包含：

一金氧半變容器，包含：

一基板，具有一阱區；

一柵極，位于該阱區上；以及

一第一源/漏極與一第二源/漏極，分別形成于該阱區中，位于該柵極的相對兩側；以及

一堆疊電容器，電性連接該金氧半變容器，其中該堆疊電容器包含多個金屬層，彼此相間隔地堆疊于該柵極的上方，且位于一電感性元件的下方；

其中任一該金屬層的圖案包含多個梳狀結構單元，呈對稱排列，每一該梳狀結構單元包含：

多個第一金屬條，彼此間平行排布；

一第一金屬連接件，連接該些第一金屬條，其中該些第一金屬條的長度沿著該第一金屬連接件的一端向另一端遞減；

多個第二金屬條，彼此間平行排布，與該些第一金屬條相互垂直；以及

一第二金屬連接件，連接該些第二金屬條，與該第一金屬連接件相互垂直，其中該些第二金屬條的長度沿著該第二金屬連接件的一端向另一端遞減，該些第二金屬條與該些第一金屬條呈對稱排列，

其中該些第一金屬條中最長的第一金屬條與該些第二金屬條中最長的第二金屬條連接，而該些第一、第二金屬條中的其余金屬條的末端互不相連。

3.如權利要求1或2所述的堆疊式電容結構，其中該第一源/漏極、該第二源/漏極與該阱區皆為同一導電型的半導體區域。

4.如權利要求1或2所述的堆疊式電容結構，其中該些金屬層中在該柵極上方的第奇數個金屬層均作為一第一電容電極，第偶數個金屬層均作為一第二電容電極，且該第奇數個金屬層電性連接至該第一源/漏極與該第二源/漏極，該第偶數個金屬層電性連接至該柵極。

5.如權利要求4所述的堆疊式電容結構，還包含：

一第一開關，其一端電性連接一陽電極，而另一端電性連接該第二電容電極；以及

一第二開關，其一端電性連接一陰電極及該第一電容電極，而另一端電性連接該第二電容電極。

6.如權利要求2所述的堆疊式電容結構，其中該些梳狀結構單元的數量為四個，區分為一第一梳狀結構單元、一第二梳狀結構單元、一第三梳狀結構單元與一第四梳狀結構單元，該第一、第三梳狀結構單元沿著一第一對稱軸與該第二、第四梳狀結構單元呈軸對稱，該第一、第二梳狀結構單元沿著一第二對稱軸與該第三、第四梳狀結構單元呈軸對稱，該第一、第二對稱軸相互垂直地交會于該些梳狀結構單元所包圍的中心處。

7.如權利要求6所述的堆疊式電容結構，其中該第一梳狀結構單元連接該第二梳狀結構單元，該第三梳狀結構單元連接該第四梳狀結構單元，該第二梳狀結構單元連接該第四梳狀結構單元，該第一梳狀結構單元與該第三梳狀結構單元互不相連。

8.如權利要求7所述的堆疊式電容結構，其中該第一梳狀結構單元中最長的該第一、第二金屬條與該第二梳狀結構單元中最長的該第一、第二金屬條連接，第三梳狀結構單元中最長的該第一、第二金屬條與該第四梳狀結構單元中最長的該第一、第二金屬條連接，且該第二梳狀結構單元中的該第二金屬連接件與該第四梳狀結構單元中的該第二金屬連接件連接。