[發(fā)明專利]一種雙腔型MEMS原子氣室的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610630740.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-08-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106219481B | 公開（公告）日： | 2017-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 翟浩;陳大勇;廉吉慶;馮浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘭州空間技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | B81C1/00 | 分類號(hào)： | B81C1/00;B81C3/00;G04F5/14 |
| 代理公司： | 北京理工大學(xué)專利中心11120 | 代理人： | 李微微,仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國(guó)省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 雙腔型 mems 原子 制備 方法 | ||
1.一種雙腔型MEMS原子氣室的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1、對(duì)硅片(1)進(jìn)行清洗；
步驟2、基于干法刻蝕工藝在所述硅片(1)上刻蝕多個(gè)雙腔型MEMS原子氣室(2)，并形成雙腔型MEMS原子氣室陣列；其中，所述雙腔型MEMS原子氣室(2)包括兩個(gè)圓形氣室腔和連接兩個(gè)圓形氣室腔的通道；
步驟3、基于陽(yáng)極鍵合工藝將所述硅片(1)的兩個(gè)側(cè)面分別與玻璃(3)進(jìn)行鍵合，形成結(jié)構(gòu)為玻璃-硅片-玻璃的三明治結(jié)構(gòu)；
步驟4、將雙腔型MEMS原子氣室陣列切割成單個(gè)的雙腔型MEMS原子氣室(2)；
步驟5、在各個(gè)雙腔型MEMS原子氣室(2)的其中一個(gè)氣室腔的玻璃(3)面上進(jìn)行開孔處理，開孔直徑小于2mm；
步驟6、基于玻璃的熱加工制備直徑小于3mm的玻璃導(dǎo)管(4)；
步驟7、基于玻璃的焊接工藝將玻璃導(dǎo)管(4)與所述步驟5的開孔進(jìn)行焊接，使玻璃導(dǎo)管(4)與雙腔型MEMS原子氣室(2)的氣室腔相通；
步驟8、通過(guò)玻璃導(dǎo)管(4)對(duì)氣室腔充制堿金屬，完成后去掉玻璃導(dǎo)管(4)，并對(duì)氣室腔進(jìn)行密封處理，完成制備。
2.如權(quán)利要求1所述的一種雙腔型MEMS原子氣室的制備方法，其特征在于，對(duì)切割后的單個(gè)雙腔型MEMS原子氣室(2)端面進(jìn)行打磨和涂抹玻璃膠處理。
3.如權(quán)利要求1所述的一種雙腔型MEMS原子氣室的制備方法，其特征在于，所述硅片(1)為圓形，直徑為4英寸。
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