[發明專利]一種基于SOI的垂直梳齒制造工藝在審
| 申請號： | 201610627189.6 | 申請日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN106241730A | 公開（公告）日： | 2016-12-21 |
| 發明（設計）人： | 戴麗萍;宋文平;王志明;許龍來;夏萬順;王姝婭;鐘志親;張國俊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司51230 | 代理人： | 楊保剛;晏輝 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 soi 垂直 梳齒 制造 工藝 | ||
【說明書】：
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