[發明專利]一種晶體硅太陽能電池的磷擴散方法

有效

• 申請號: 201610626807.5
• 申請日: 2016-08-03
• 公開（公告）號: CN106057980B
• 公開（公告）日: 2017-07-11
• 發明（設計）人: 嚴健;劉志強;黨繼東
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙)32251
• 代理人: 陸金星

1.一種晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于，依次包括如下步驟：

(1) 在大氮氣氛下將擴散爐升溫，進舟；

(2) 控溫至800℃以下，通入攜磷源氮氣及干氧，形成含磷的二氧化硅層；

(3) 保持上述步驟(2)中的溫度、干氧流量不變，增大通入攜磷源氮氣，進行低溫擴散；

(4) 停止通入攜磷源氮氣，降低干氧的流量，將爐內溫度升高，邊升溫邊推進；

(5) 保持上述步驟(4)中的溫度不變，通入攜磷源氮氣和干氧，進行第一次高溫擴散；

(6) 停止通入攜磷源氮氣，降低干氧的流量，將爐內溫度升高，邊升溫邊推進；

(7) 保持上述步驟(6)中的溫度不變，通入攜磷源氮氣和干氧，進行第二次高溫擴散；

(8) 停止通入攜磷源氮氣，提升干氧的流量，將爐內溫度降低，邊降溫邊推進；

(9) 降溫出舟，完成擴散過程；

上述步驟(2)至(8)均在大氮氣氛下進行。

2.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(1)中，升溫至780~800℃，通入大氮流量為10000~40000 sccm。

3.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(2)中，所述攜磷源氮氣的流量為100~500 sccm，干氧的流量為500~1000 sccm，控溫時間控制在500~800秒；

形成的含磷二氧化硅層的厚度為75~90 nm。

4.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(2)、(4)、(6)和(8)中，大氮流量控制在10000~20000 sccm，爐內壓力控制在50~150 Pa。

5.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(3)中，所述攜磷源氮氣的流量為1000~2000 sccm，擴散時間為600~900秒。

6.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(4)中，爐內溫度升高至810~830℃，降低干氧的流量至0~500 sccm，推進時間控制在600~800秒。

7.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(5)和(7)中，所述攜磷源氮氣的流量為1000~2000 sccm，干氧的流量為500~1000 sccm，擴散時間為300~600秒。

8.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(6)中，將爐內溫度升高至830~860℃，降低干氧的流量至0~500 sccm，推進時間控制在500~800秒。

9.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的磷擴散方法，其特征在于：所述步驟(8)中，將爐內溫度降低至800~830℃，提升干氧的流量至2000~8000 sccm，邊降溫邊推進，推進時間控制在400~700秒。

10.根據權利要求1至9任一項所述的磷擴散方法獲得的晶體硅太陽能電池。