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[發明專利]一種帶有補償電容的高頻腔體及其工作頻率調節方法有效

專利信息
申請號: 201610617064.5 申請日: 2016-07-29
公開(公告)號: CN106231774B 公開(公告)日: 2018-10-09
發明(設計)人: 紀彬;殷治國;邢建升;李鵬展;付曉亮;張天爵;魏俊逸;劉庚首;趙振魯;曹學龍;郭娟娟;宮鵬飛 申請(專利權)人: 中國原子能科學研究院
主分類號: H05H7/18 分類號: H05H7/18;H05H13/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 102413 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 帶有 補償 電容 高頻 及其 工作 頻率 調節 方法
【權利要求書】:
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