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[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體泵浦激光清洗機(jī)的激光光路系統(tǒng)有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201610616108.2 申請(qǐng)日: 2016-08-01
公開(公告)號(hào): CN106025777B 公開(公告)日: 2019-02-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 周倩;周健;周彪 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 蘇州艾思蘭光電有限公司
主分類號(hào): H01S3/0941 分類號(hào): H01S3/0941;H01S3/109;H01S3/117;H01S3/16;B08B7/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 半導(dǎo)體 激光 清洗 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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