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[發明專利]制備透射電子顯微鏡樣品的方法在審

專利信息
申請號: 201610612977.8 申請日: 2016-07-29
公開(公告)號: CN106226134A 公開(公告)日: 2016-12-14
發明(設計)人: 陳強;邱燕蓉 申請(專利權)人: 上海華力微電子有限公司
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28;G01N23/22
代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 制備 透射 電子顯微鏡 樣品 方法
【權利要求書】:
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