[發明專利]制備透射電子顯微鏡樣品的方法在審
| 申請號: | 201610612977.8 | 申請日: | 2016-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN106226134A | 公開(公告)日: | 2016-12-14 |
| 發明(設計)人: | 陳強;邱燕蓉 | 申請(專利權)人: | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號: | G01N1/28 | 分類號: | G01N1/28;G01N23/22 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人: | 智云 |
| 地址: | 201203 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制備 透射 電子顯微鏡 樣品 方法 | ||
【權利要求書】:
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