[發明專利]一種大面積均勻面電子源

有效

• 申請號: 201610612228.5
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN107665798B
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 錢蕓生;湯貍明;趙慧明;宋誠鑫;張振;張益軍
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: H01J3/02
• 分類號: H01J3/02;H01J1/15
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 馬魯晉

1.一種大面積均勻面電子源，其特征在于，包括紫外光源(1)、光刻鋼網(2)、紫外光源外殼(3)、第一金陰極夾具組件(5)、第一MCP夾具組件(6)、第二金陰極夾具組件(7)、金陰極(8)、MCP(9)、第二MCP夾具組件(10)、第三MCP夾具組件(13)、MCP夾具與金陰極夾具連接件(14)；

所述紫外光源外殼(3)位于真空室的真空玻璃窗(11)下方并與真空室底盤(4)的外底部通過真空室連接法蘭(12)相固連，紫外光源外殼(3)內底部中心設置紫外光源(1)，紫外光源(1)的上方設置光刻鋼網(2)；

在真空室內部，真空玻璃窗(11)的上方依次設置金陰極(8)與MCP(9)，其中金陰極(8)通過第一金陰極夾具組件(5)和第二金陰極夾具組件(7)固連在真空室內，其中，第一金陰極夾具組件(5)固定在真空玻璃窗(11)的上方，第二金陰極夾具組件(7)位于第一金陰極夾具組件(5)的內部，并對金陰極(8)供電；MCP(9)通過第一MCP夾具組件(6)、第二MCP夾具組件(10)和第三MCP夾具組件(13)固連在真空室內，其中，第一MCP夾具組件(6)位于第一金陰極夾具組件(5)的上方并通過MCP夾具與金陰極夾具連接件(14)固定，第三MCP夾具組件(13)位于第一MCP夾具組件(6)的內側并用于給MCP(9)供電，第二MCP夾具組件(10)位于MCP(9)的上方，并對其輸出端供電。

2.根據權利要求1所述的大面積均勻面電子源，其特征在于，第一金陰極夾具組件(5)的材料為聚四氟乙烯，第二金陰極夾具組件(7)的材料為304不銹鋼。

3.根據權利要求1所述的大面積均勻面電子源，其特征在于，第一MCP夾具組件(6)的材料為聚四氟乙烯，第二MCP夾具組件(10)和第三MCP夾具組件(13)的材料為304不銹鋼。

4.根據權利要求1所述的大面積均勻面電子源，其特征在于，所述光刻鋼網(2)的材料為304不銹鋼。