[發(fā)明專利]一種多功能立式連續(xù)磁控濺射鍍膜系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610611010.8 | 申請日： | 2016-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN106011769B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王進東 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京君華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11515 | 代理人： | 李海峰 |
| 地址： | 223100 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多功能 立式 連續(xù) 磁控濺射 鍍膜 系統(tǒng) | ||
【說明書】：
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
