[發明專利]離子注入設備及監控方法有效
| 申請號： | 201610608697.X | 申請日： | 2016-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN106206231B | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發明（設計）人： | 邱裕明;肖天金 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 注入 設備 監控 方法 | ||
【權利要求書】：
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