[發(fā)明專利]一種氣浴裝置及控制方法和應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610608676.8
• 申請(qǐng)日: 2016-07-29
• 公開（公告）號(hào): CN107664263B
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郎東春;楊志斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): F17D1/02
• 分類號(hào): F17D1/02;F17D3/01;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種氣浴裝置，包括供氣裝置、冷卻水供水裝置和氣浴末端裝置，其特征在于，所述供氣裝置和氣浴末端裝置之間設(shè)有壓力調(diào)節(jié)裝置，所述冷卻水供水裝置與所述氣浴末端裝置之間設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置，所述氣浴末端裝置內(nèi)設(shè)有氣路通道和水路通道，所述氣路通道的入口與所述壓力調(diào)節(jié)裝置連接，氣路通道的氣路出口靠近所述水路通道并與所述氣浴末端裝置的工作面連通；所述水路通道的入口與所述溫度調(diào)節(jié)裝置的出口連接，水路通道的出口與所述冷卻水供水裝置的入口連接，所述氣路通道和所述水路通道的孔徑均小于0.1mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述氣浴裝置，其特征在于，所述供氣裝置為壓縮氣體供氣裝置，所述供氣裝置與所述壓力調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)有空氣過濾裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述氣浴裝置，其特征在于，所述空氣過濾裝置與所述壓力調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)有初級(jí)熱交換裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述氣浴裝置，其特征在于，所述壓力調(diào)節(jié)裝置包括壓力控制器和壓力傳感器，所述壓力控制器的入口連接所述供氣裝置的出口，壓力控制器的出口連接所述氣路通道的入口，所述壓力傳感器分別連接所述氣路通道的氣路出口和所述壓力控制器，檢測(cè)所述氣路出口的壓力并反饋至所述壓力控制器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述氣浴裝置，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)裝置包括溫度控制器和溫度傳感器，所述溫度控制器的入口連接所述冷卻水供水裝置的出口，溫度控制器的出口連接水路通道的入口，所述溫度傳感器設(shè)有兩個(gè)，兩端分別連接所述氣路通道的入口和所述溫度控制器，以及氣路通道的出口和所述溫度控制器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述氣浴裝置，其特征在于，所述水路通道為多層環(huán)形通道，所述多層環(huán)形通道首尾相通且相鄰兩層之間設(shè)有垂向落差。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述氣浴裝置，其特征在于，所述氣路通道包括多個(gè)同心環(huán)形通道，每個(gè)所述同心環(huán)形通道設(shè)于所述多層環(huán)形通道的相鄰兩層之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述氣浴裝置，其特征在于，每個(gè)所述同心環(huán)形通道包括若干與所述氣路通道入口連通的環(huán)形通道，所述氣路出口設(shè)于每個(gè)所述環(huán)形通道對(duì)應(yīng)所述氣浴末端裝置工作面的一側(cè)，所述氣路出口的壓力相同且靠近所述水路通道。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述氣浴裝置，其特征在于，所述氣路出口沿所述環(huán)形通道均勻分布，且相鄰氣路出口之間的距離小于10倍所述氣路通道的孔徑。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述氣浴裝置，其特征在于，所述氣路通道和水路通道集成于一塊板中。

11.一種氣浴控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：冷卻水供水裝置提供的冷卻水經(jīng)過溫度調(diào)節(jié)裝置后從水路通道的入口進(jìn)入氣浴末端裝置內(nèi)并沿水路通道流通，供氣裝置提供的氣體經(jīng)過壓力調(diào)節(jié)裝置后從氣路通道的入口進(jìn)入氣浴末端裝置內(nèi)，沿氣路通道流通，并通過氣路出口與水路通道進(jìn)行熱交換后從氣浴末端裝置的工作面排出至待氣浴對(duì)象；

S2：所述壓力調(diào)節(jié)裝置實(shí)時(shí)檢測(cè)氣路出口的氣壓，并進(jìn)行調(diào)節(jié)，確保氣浴壓力處于穩(wěn)定狀態(tài)；所述溫度調(diào)節(jié)裝置實(shí)時(shí)檢測(cè)氣路出口的氣體溫度，并進(jìn)行調(diào)節(jié)，確保氣浴溫度處于穩(wěn)定狀態(tài)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述氣浴控制方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述供氣裝置為壓縮氣體供氣裝置，提供壓縮氣體。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述氣浴控制方法，其特征在于，所述步驟S1中，還包括，所述壓縮氣體首先經(jīng)過空氣過濾裝置進(jìn)行過濾，再經(jīng)過初級(jí)熱交換裝置進(jìn)行初級(jí)溫控后進(jìn)入壓力調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述氣浴控制方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述壓縮氣體進(jìn)入氣浴末端裝置后沿兩個(gè)相反的方向進(jìn)入每個(gè)環(huán)形通道中。