[發明專利]光刻系統有效
| 申請號： | 201610607707.8 | 申請日： | 2016-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN106094448B | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發明（設計）人： | 李繼剛 | 申請（專利權）人： | 蘇州億拓光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/207 | 分類號： | G03F7/207;G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王鋒 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 系統 | ||
【說明書】：
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