[發(fā)明專利]一種用于等離子處理器的射頻電源控制裝置及其控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610607371.5
• 申請(qǐng)日: 2016-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN107665800B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周旭升;祝飛翼;劉小波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/04
• 分類號(hào): H01J37/04;H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧;周榮芳

1.一種用于等離子處理器的射頻電源控制裝置，所述等離子處理器包括：一下電極，下電極上方設(shè)置有一靜電夾盤，待處理晶圓設(shè)置在所述靜電夾盤上，一個(gè)射頻電源通過一個(gè)匹配電路輸出射頻功率到所述下電極，一個(gè)偏置電壓檢測電路耦合到所述下電極以獲偏置電壓測得值，一個(gè)工藝參數(shù)控制器，其特征在于，

還包括一個(gè)控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器，所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器包括第一輸入端連接到所述偏置電壓檢測電路，一個(gè)第二輸入端連接到所述工藝參數(shù)控制器，一個(gè)輸出端連接到所述射頻電源，所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器將所述工藝參數(shù)控制器輸出的偏置電壓設(shè)定值轉(zhuǎn)換為輸出功率數(shù)值輸出到所述射頻電源。

2.如權(quán)利要求1所述的用于等離子處理器的射頻電源控制裝置，其特征在于，所述工藝參數(shù)控制器存儲(chǔ)了至少兩個(gè)工藝參數(shù)，第一工藝參數(shù)包括射頻電源輸出功率設(shè)定值，第二工藝參數(shù)包括偏置電壓設(shè)定值。

3.如權(quán)利要求1所述的用于等離子處理器的射頻電源控制裝置，其特征在于，所述偏置電壓檢測電路包括濾波器和整流器。

4.如權(quán)利要求1所述的用于等離子處理器的射頻電源控制裝置，其特征在于，所述偏置電壓檢測電路電連接到所述下電極或者靜電夾盤。

5.如權(quán)利要求1所述的用于等離子處理器的射頻電源控制裝置，其特征在于，直流電壓源輸出直流電壓到所述靜電夾盤內(nèi)的電極，所述偏置電壓檢測電路包括一個(gè)輸出端輸出所述偏置電壓測得值到所述直流電壓源，以調(diào)整直流電壓源輸出的直流電壓。

6.一種用于等離子處理器的射頻電源控制方法，利用權(quán)利要求1所述的射頻電源控制裝置，其特征在于，所述工藝參數(shù)控制器輸出到控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器的為設(shè)定功率值時(shí)，所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器將所述設(shè)定功率值輸出到射頻電源，射頻電源工作在功率輸出模式下，射頻電源根據(jù)接收到的設(shè)定功率值輸出射頻功率。

7.如權(quán)利要求6所述的用于等離子處理器的射頻電源控制方法，其特征在于，所述工藝參數(shù)控制器輸出到控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器的是偏置電壓設(shè)定值時(shí)，所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換器根據(jù)預(yù)設(shè)程序?qū)⑺銎秒妷涸O(shè)定值轉(zhuǎn)換為輸出功率數(shù)值輸出到射頻電源，射頻電源工作在功率輸出模式下，根據(jù)接收到的輸出功率數(shù)值輸出射頻功率。

8.如權(quán)利要求7所述的用于等離子處理器的射頻電源控制方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)程序包括步驟：

A.比較偏置電壓設(shè)定值和偏置電壓測得值的差，如果差值小于預(yù)設(shè)限值則保持當(dāng)前射頻電源的輸出功率，如果差值大于預(yù)設(shè)限值，則進(jìn)入步驟B；

B.根據(jù)所述比較獲得的差值，改變輸出功率數(shù)值并輸出到射頻電源，等待一個(gè)預(yù)設(shè)時(shí)間段后再次獲取偏置電壓測得值，再次進(jìn)入步驟A。

9.如權(quán)利要求8所述的用于等離子處理器的射頻電源控制方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)時(shí)間段為0.2-1.5秒。