[發明專利]一種環境傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201610605697.4
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN106092153B
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 周宗燐;詹竣凱;邱冠勛;蔡孟錦
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: G01D5/241
• 分類號: G01D5/241
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙)11442
• 代理人: 王昭智,馬佑平

1.一種環境傳感器，其特征在于：包括襯底(1)，在所述襯底(1)上還設置有至少一個參考電容器、至少一個檢測電容器；其中，所述檢測電容器包括檢測固定電極(9)以及與外界環境連通的檢測敏感膜(11)，所述檢測敏感膜(11)與襯底(1)之間形成了密封的第一腔體(10)；所述參考電容器包括參考固定電極(6)、參考敏感膜(7)，所述參考敏感膜(7)與襯底(1)之間形成了密封的第二腔體(8)；所述第一腔體(10)與第二腔體(8)連通；還包括用于隔絕參考敏感膜(7)與外界環境的蓋體，所述蓋體與參考敏感膜(7)圍成了密封的第三腔體(12)；所述第一腔體(10)、第二腔體(8)、第三腔體(12)為非真空環境。

2.根據權利要求1所述的環境傳感器，其特征在于：還包括位于襯底(1)上的絕緣層(2)，所述檢測固定電極(9)、參考固定電極(6)均設置在所述絕緣層(2)上；所述檢測敏感膜(11)、參考敏感膜(7)通過第一支撐部(3)分別支撐在檢測固定電極(9)、參考固定電極(6)的上方。

3.根據權利要求2所述的環境傳感器，其特征在于：所述檢測敏感膜(11)、參考敏感膜(7)分別通過鍵合的方式連接在第一支撐部(3)上。

4.根據權利要求2所述的環境傳感器，其特征在于：所述檢測敏感膜(11)、參考敏感膜(7)為一體的，且二者的安裝高度相同。

5.根據權利要求2所述的環境傳感器，其特征在于：所述襯底(1)、第一支撐部(3)、檢測敏感膜(11)圍成了密封的第一腔體(10)；所述襯底(1)、第一支撐部(3)、參考敏感膜(7)圍成了密封的第二腔體(8)；在所述第一支撐部(3)的相應位置上設置有貫通孔(15)，以連通所述第一腔體(10)、第二腔體(8)。

6.根據權利要求1所述的環境傳感器，其特征在于：所述蓋體包括蓋板(5)以及第二支撐部(4)，所述蓋板(5)通過第二支撐部(4)支撐在參考敏感膜(7)的上方，所述蓋板(5)、第二支撐部(4)、參考敏感膜(7)圍成了密封的第三腔體(12)。

7.根據權利要求6所述的環境傳感器，其特征在于：所述蓋板(5)延伸至檢測敏感膜(11)的上方，且所述蓋板(5)、第二支撐部(4)、檢測敏感膜(11)圍成了密封的第四腔體(13)，并在所述蓋板(5)上或所述第二支撐部(4)上設置有連通外界與第四腔體(13)的導通孔(14)。

8.根據權利要求1所述的環境傳感器，其特征在于：所述環境傳感器為壓力傳感器。

9.一種如權利要求1至8任一項所述環境傳感器的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

a)在襯底(1)上沉積絕緣層(2)；

b)在所述絕緣層(2)上設置導電層，并對該導電層進行刻蝕，形成檢測固定電極(9)、參考固定電極(6)；

c)在所述襯底(1)的上方設置第一支撐部(3)，并在第一支撐部的相應位置上形成貫通孔(15)；

d)將檢測敏感膜(11)、參考敏感膜(7)鍵合在各自的第一支撐部(3)上，使檢測敏感膜(11)、第一支撐部(3)與襯底(1)圍成了密封的第一腔體(10)，并使檢測敏感膜(11)、檢測固定電極(9)構成了檢測電容器；使所述參考敏感膜(7)、第一支撐部(3)與襯底(1)圍成了密封的第二腔體(8)，并使參考敏感膜(7)、參考固定電極(6)構成了參考電容器；所述第一腔體(10)通過貫通孔(15)與第二腔體(8)連通；

e)在所述參考敏感膜(7)的上方設置蓋體，所述蓋體與參考敏感膜(7)圍成了密封的第三腔體(12)。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其特征在于：還包括在第一腔體(10)、第二腔體(8)、第三腔體(12)中充氣的步驟。