[發(fā)明專利]激光切割裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610603429.9
• 申請(qǐng)日: 2016-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN106624373A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金兌龍;李振豪;金佑玹;柳濟(jì)吉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/364
• 分類號(hào): B23K26/364;B23K26/402;B23K26/064;B23K26/02
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11204
• 代理人: 王達(dá)佐,劉錚

1.一種激光切割裝置，包括：

激光模塊，產(chǎn)生激光并朝著第一方向上射出所述激光；

鏡，朝著與所述第一方向交叉的第二方向反射所述激光；

聚光透鏡，使所述鏡反射的所述激光在透過的同時(shí)被聚光；

旋轉(zhuǎn)盤，在使從所述聚光透鏡接收到的所述激光透過的同時(shí)改變所述激光的焦點(diǎn)；以及

支承部，供接收透過所述旋轉(zhuǎn)盤的所述激光的襯底布置于其上，

其中，所述激光的焦點(diǎn)位于所述襯底的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光切割裝置，其中，

所述激光具有300nm至1064nm的波長(zhǎng)范圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光切割裝置，其中，所述旋轉(zhuǎn)盤包括：

多個(gè)板，在使從所述聚光透鏡接收到的所述激光透過的同時(shí)改變所述激光的焦點(diǎn)；以及

多個(gè)開放部，布置在所述多個(gè)板之間并且由所述多個(gè)板之間的空的空間形成，

其中，透過所述多個(gè)開放部的所述激光具有第一焦點(diǎn)，并且透過所述多個(gè)板的所述激光在所述多個(gè)板中被折射而具有第二焦點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光切割裝置，其中，

所述第一焦點(diǎn)位于所述襯底內(nèi)部的與所述襯底的上表面相鄰的預(yù)定區(qū)域中，并且所述第二焦點(diǎn)位于所述襯底內(nèi)部的與所述襯底的下表面相鄰的預(yù)定區(qū)域中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光切割裝置，其中，

所述旋轉(zhuǎn)盤以所述旋轉(zhuǎn)盤的中心為軸旋轉(zhuǎn)，并且在所述聚光透鏡中被聚光的所述激光反復(fù)地透過所述多個(gè)板和所述多個(gè)開放部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光切割裝置，其中，

所述旋轉(zhuǎn)盤在順時(shí)針方向和逆時(shí)針方向中的任一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光切割裝置，其中，

所述支承部移動(dòng)所述襯底以使得所述激光從所述襯底的一側(cè)提供至所述襯底的另一側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光切割裝置，其中，

所述襯底的對(duì)應(yīng)于所述第一焦點(diǎn)的部分處連續(xù)地形成有多個(gè)第一點(diǎn)，所述襯底的對(duì)應(yīng)于所述第二焦點(diǎn)的部分處連續(xù)地形成有多個(gè)第二點(diǎn)，并且所述第一點(diǎn)和所述第二點(diǎn)是所述襯底的由所述激光在所述第一焦點(diǎn)和所述第二焦點(diǎn)所處的位置上加熱的部分。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光切割裝置，其中，

從上方查看時(shí)，所述第一點(diǎn)和所述第二點(diǎn)彼此重疊，并且所述襯底通過向?qū)⑺龅谝稽c(diǎn)和所述第二點(diǎn)冷卻而形成的裂縫上施加外力而被切斷。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光切割裝置，其中，

所述多個(gè)板包括玻璃，所述旋轉(zhuǎn)盤具有圓形形狀，所述多個(gè)板具有扇形形狀，并且所述多個(gè)板的所述扇形形狀的兩個(gè)半徑的交點(diǎn)位于所述旋轉(zhuǎn)盤的中心處。