[發明專利]應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷及其制備方法

有效

• 申請號: 201610603222.1
• 申請日: 2016-07-27
• 公開（公告）號: CN107663080B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 楊鵬遠;朱煜;徐登峰;許巖;侯占杰;成榮;雷忠興;韓瑋琦;王建沖;唐娜娜
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;C04B35/10;C04B35/622;B28B1/29
• 代理公司: 北京頭頭知識產權代理有限公司 11729
• 代理人: 劉鋒

1.一種應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷，其特征在于，所述氧化鋁陶瓷由以下重量份的組分組成：

所述氧化鋁陶瓷通過如下步驟制備：

步驟1：將稱取的二氧化鈦、二氧化硅和氧化鎂粉料混合均勻，然后將混合粉料在900-1100℃下進行預燒3.5-6小時，隨爐冷卻至常溫，然后研磨至粒徑為100-200目，得到第一混合粉料；

步驟2：將所述第一混合粉料與α-氧化鋁混合均勻，然后研磨至粒徑為150-350目，得到第二混合粉料；

步驟3：在所述第二混合粉料中加入有機溶劑和分散劑，進行第一次球磨攪拌；然后加入粘結劑和增塑劑進行第二次球磨攪拌，得到混合漿料；

步驟4：將所述混合漿料在流延機上進行流延，流延結束后將得到的厚度為0.1-1.0mm的流延片進行排膠處理后放入燒結爐在1000-1350℃下燒結2-5.5小時。

2.根據權利要求1所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷，其特征在于，所述氧化鋁陶瓷由以下重量份的組分組成：

3.權利要求1-2任一所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1：將稱取的二氧化鈦、二氧化硅和氧化鎂粉料混合均勻，然后將混合粉料在900-1100℃下進行預燒3.5-6小時，隨爐冷卻至常溫，然后研磨至粒徑為100-200目，得到第一混合粉料；

步驟2：將所述第一混合粉料與α-氧化鋁混合均勻，然后研磨至粒徑為150-350目，得到第二混合粉料；

步驟3：在所述第二混合粉料中加入有機溶劑和分散劑，進行第一次球磨攪拌；然后加入粘結劑和增塑劑進行第二次球磨攪拌，得到混合漿料；

步驟4：將所述混合漿料在流延機上進行流延，流延結束后將得到的厚度為0.1-1.0mm的流延片進行排膠處理后放入燒結爐在1000-1350℃下燒結2-5.5小時。

4.根據權利要求3所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟1中預燒的溫度為950-1050℃，預燒的時間為3.5-4小時。

5.根據權利要求4所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟1中研磨至粒徑為100-150目。

6.根據權利要求3所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟2中研磨至粒徑為200-250目。

7.根據權利要求3所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟3中第一次球磨攪拌和第二次球磨攪拌的時間都為24-48小時，所述混合漿料中氧化鋁基成分的質量百分比為45-55％。

8.根據權利要求7所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟3中，有機溶劑為乙醇/甲乙酮、乙醇/三氯乙烯、乙醇/甲苯、甲苯/正丁醇溶劑體系中的一種或兩種，分散劑為磷酸酯、乙氧基化合物、三油酸甘油酯中的一種或幾種，粘接劑為聚乙烯醇、丙烯酸乳液、聚丙烯酸銨鹽、聚醋酸乙烯酯中的一種或多種，增塑劑為鄰苯二甲酸二丁酯、甘油、聚乙二醇、鄰苯二甲酸二辛酯中的一種或幾種。

9.根據權利要求3所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟4中流延片的厚度為0.2-0.3mm。

10.根據權利要求9所述的應用于J-R型靜電卡盤的氧化鋁陶瓷的制備方法，其特征在于，所述步驟4中燒結的溫度為1250-1300℃，燒結的時間為3-4小時。