[發明專利]一種大范圍原子力顯微鏡掃描定位系統有效
| 申請號： | 201610601352.1 | 申請日： | 2016-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN106053886B | 公開（公告）日： | 2019-02-15 |
| 發明（設計）人： | 許素安;金瑋;黃艷巖;富雅瓊;謝航杰 | 申請（專利權）人： | 中國計量大學 |
| 主分類號： | G01Q60/24 | 分類號： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 范圍 原子 顯微鏡 掃描 定位 系統 | ||
【說明書】：
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