[發(fā)明專利]形成連接件襯墊結(jié)構(gòu)、互連結(jié)構(gòu)的方法及其結(jié)構(gòu)在審

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201610600201.4	申請(qǐng)日：	2016-07-27
公開（公告）號(hào)：	CN106684033A	公開（公告）日：	2017-05-17
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	張家綸;劉重希;林修任;陳憲偉;鄭明達(dá);陳威宇	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
主分類號(hào)：	H01L21/768	分類號(hào)：	H01L21/768;H01L23/52
代理公司：	北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11409	代理人：	章社杲;李偉
地址：	暫無信息	國省代碼：	臺(tái)灣;71
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	形成連接襯墊結(jié)構(gòu) 互連方法及其
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