[發(fā)明專(zhuān)利]具有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的集成電路管芯及其形成方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610600014.6 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106549004A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳憲偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,李偉 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記 集成電路 管芯 及其 形成 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,對(duì)準(zhǔn)方法和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置、用于這樣的對(duì)準(zhǔn)裝置的對(duì)準(zhǔn)元件和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及其對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 同步數(shù)字體系網(wǎng)絡(luò)標(biāo)記交換的標(biāo)記處理方法
- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記頭和標(biāo)記裝置
- 用于通過(guò)標(biāo)記光線標(biāo)記物體的標(biāo)記設(shè)備
- 標(biāo)記裝置以及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記系統(tǒng)
- 激光標(biāo)記方法、激光標(biāo)記機(jī)及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 用于標(biāo)記標(biāo)記對(duì)象的標(biāo)記系統(tǒng)
- 標(biāo)記方法及標(biāo)記裝置
