[發(fā)明專利]靜電鍵合設(shè)備及靜電鍵合產(chǎn)生的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610597631.5
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN106082117B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 湯亮;張忠山;季磊;支萌輝;齊敏;孫泉;喬東海;張倩
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院聲學(xué)研究所
• 主分類號: B81C3/00
• 分類號: B81C3/00
• 代理公司: 北京億騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所11309
• 代理人: 陳霽

1.一種靜電鍵合設(shè)備，包括手套箱設(shè)備(0000)和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)；其特征在于，所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)內(nèi)部設(shè)置有靜電鍵合室，所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)部設(shè)置有手套箱；所述靜電鍵合室與所述手套箱之間設(shè)立連接通道(0002)，所述連接通道(0002)用于實現(xiàn)操作對象的內(nèi)部轉(zhuǎn)移；

所述連接通道(0002)設(shè)置有機械鎖(0020)和機械門(0021)；

當(dāng)所述操作對象轉(zhuǎn)移之前，開啟所述機械鎖(0020)和所述機械門(0021)；

當(dāng)所述操作對象轉(zhuǎn)移之后，關(guān)閉所述機械門(0021)和所述機械鎖(0020)；

所述靜電鍵合設(shè)備還包括手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)；

所述手套箱包括：探頭、氣體輸入孔和氣體輸出孔；

所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制所述探頭對所述手套箱內(nèi)的氧氣和水汽含量進行測量；

通過所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制開啟所述手套箱的置換功能，直到所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)顯示所述氧氣含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm時，停止所述置換功能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述靜電鍵合室包括第一電極(1015)、第一電極操作桿(1014)和加熱裝置(1017)；

所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極操作桿(1014)對所述操作對象施加作用力，使所述第一電極操作桿與所述操作對象接觸；

所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述加熱裝置(1017)對所述操作對象進行加熱；

所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極(1015)給所述操作對象提供電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，還包括位于所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)內(nèi)部的高真空顯示器(1003)和低真空顯示器(1004)；

所述高真空顯示器(1003)用于在所述電腦控制終端(1007)對所述靜電鍵合室進行真空處理時，顯示所述靜電鍵合室內(nèi)高真空數(shù)值；

所述低真空顯示器(1004)用于在停止所述真空處理后對所述靜電鍵合室充入氬氣時，顯示所述靜電鍵合室內(nèi)低真空數(shù)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，還包括：大操作對象傳送通道(0016)；

所述大操作對象傳送通道(0016)用于在手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制所述大操作對象傳送通道(0016)內(nèi)氣壓和所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)氣壓平衡后，將所述操作對象從所述大操作對象傳送通道(0016)轉(zhuǎn)移到所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，還包括支撐架；所述支撐架用于支撐所述手套箱設(shè)備(0000)和所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)。

6.一種靜電鍵合產(chǎn)生的方法，用于如權(quán)利要求1-5任一項所述的靜電鍵合設(shè)備中，其特征在于，包括：

將操作對象放置到內(nèi)氣壓平衡的手套箱內(nèi)；

通過電腦控制終端(0017)開啟所述手套箱置換功能，直到氧氣含量低于0.3ppm和水汽含量低于1.0ppm時，停止所述置換功能；

將所述操作對象通過連接通道轉(zhuǎn)移到所述靜電鍵合室；

將所述操作對象進行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述將所述操作對象進行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)的步驟具體包括：

通過所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制第一電極操作桿(1014)對所述操作對象施加作用力，使第一電極操作桿(1014)與所述操作對象接觸；

通過所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制加熱裝置對所述操作對象進行加熱，所述加熱的具體條件為溫度350℃,時間為3小時；

通過所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制所述第一電極給所述操作對象提供電壓，所述電壓的具體條件為負壓1000V，時間為15分鐘。