[發明專利]靜電鍵合設備及靜電鍵合產生的方法

有效

• 申請號: 201610597631.5
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN106082117B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 湯亮;張忠山;季磊;支萌輝;齊敏;孫泉;喬東海;張倩
• 申請（專利權）人: 中國科學院聲學研究所
• 主分類號: B81C3/00
• 分類號: B81C3/00
• 代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所11309
• 代理人: 陳霽

1.一種靜電鍵合設備，包括手套箱設備(0000)和靜電鍵合發生設備(1000)；其特征在于，所述靜電鍵合發生設備(1000)內部設置有靜電鍵合室，所述手套箱設備(0000)內部設置有手套箱；所述靜電鍵合室與所述手套箱之間設立連接通道(0002)，所述連接通道(0002)用于實現操作對象的內部轉移；

所述連接通道(0002)設置有機械鎖(0020)和機械門(0021)；

當所述操作對象轉移之前，開啟所述機械鎖(0020)和所述機械門(0021)；

當所述操作對象轉移之后，關閉所述機械門(0021)和所述機械鎖(0020)；

所述靜電鍵合設備還包括手套箱設備電腦控制終端(0017)和靜電鍵合發生設備電腦控制終端(1007)；

所述手套箱包括：探頭、氣體輸入孔和氣體輸出孔；

所述手套箱設備電腦控制終端(0017)控制所述探頭對所述手套箱內的氧氣和水汽含量進行測量；

通過所述手套箱設備電腦控制終端(0017)控制開啟所述手套箱的置換功能，直到所述手套箱設備電腦控制終端(0017)顯示所述氧氣含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm時，停止所述置換功能。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述靜電鍵合室包括第一電極(1015)、第一電極操作桿(1014)和加熱裝置(1017)；

所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極操作桿(1014)對所述操作對象施加作用力，使所述第一電極操作桿與所述操作對象接觸；

所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端(1007)控制所述加熱裝置(1017)對所述操作對象進行加熱；

所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極(1015)給所述操作對象提供電壓。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括位于所述靜電鍵合發生設備(1000)內部的高真空顯示器(1003)和低真空顯示器(1004)；

所述高真空顯示器(1003)用于在所述電腦控制終端(1007)對所述靜電鍵合室進行真空處理時，顯示所述靜電鍵合室內高真空數值；

所述低真空顯示器(1004)用于在停止所述真空處理后對所述靜電鍵合室充入氬氣時，顯示所述靜電鍵合室內低真空數值。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括：大操作對象傳送通道(0016)；

所述大操作對象傳送通道(0016)用于在手套箱設備電腦控制終端(0017)控制所述大操作對象傳送通道(0016)內氣壓和所述手套箱設備(0000)內氣壓平衡后，將所述操作對象從所述大操作對象傳送通道(0016)轉移到所述手套箱設備(0000)內。

5.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，還包括支撐架；所述支撐架用于支撐所述手套箱設備(0000)和所述靜電鍵合發生設備(1000)。

6.一種靜電鍵合產生的方法，用于如權利要求1-5任一項所述的靜電鍵合設備中，其特征在于，包括：

將操作對象放置到內氣壓平衡的手套箱內；

通過電腦控制終端(0017)開啟所述手套箱置換功能，直到氧氣含量低于0.3ppm和水汽含量低于1.0ppm時，停止所述置換功能；

將所述操作對象通過連接通道轉移到所述靜電鍵合室；

將所述操作對象進行處理，產生靜電鍵合反應。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述將所述操作對象進行處理，產生靜電鍵合反應的步驟具體包括：

通過所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端控制第一電極操作桿(1014)對所述操作對象施加作用力，使第一電極操作桿(1014)與所述操作對象接觸；

通過所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端控制加熱裝置對所述操作對象進行加熱，所述加熱的具體條件為溫度350℃,時間為3小時；

通過所述靜電鍵合發生設備電腦控制終端控制所述第一電極給所述操作對象提供電壓，所述電壓的具體條件為負壓1000V，時間為15分鐘。