[發明專利]磁軸承裝置及轉子旋轉驅動裝置

有效

• 申請號: 201610597460.6
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN106594071B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F16C32/04
• 分類號: F16C32/04;F16C41/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種磁軸承裝置，包括：

磁軸承，對受到無傳感器馬達旋轉驅動的轉子進行磁懸浮支撐；

檢測部，檢測所述轉子的從懸浮目標位置算起的位移，并輸出位移信號；

信號處理部，基于來自所述無傳感器馬達的馬達控制部的馬達旋轉信息，以減少所述磁軸承的電磁力的振動成分的方式，對所述位移信號進行補償處理；以及

電流控制部，基于經過所述信號處理部處理的處理后位移信號，生成所述磁軸承的控制電流，

所述磁軸承裝置特征在于：

所述信號處理部還包括：

第一信號處理部，生成將所述位移信號的旋轉成分抵消的信號成分；以及

第二信號處理部，生成產生電磁力的信號成分，所述電磁力抵消由所述位移信號的旋轉成分引起的電磁力。

2.根據權利要求1所述的磁軸承裝置，其特征在于：

所述第二信號處理部對于所述位移信號的旋轉成分，基于所述馬達旋轉信息，對通過所述檢測部后直到所述電流控制部的所述控制電流生成處理之前所產生的相位偏移進行修正，并且對所述電流控制部中的增益進行修正，由此生成所述信號成分。

3.根據權利要求1或2所述的磁軸承裝置，其特征在于：

所述電流控制部具有生成電流控制信號的磁懸浮控制部、與生成所述控制電流的勵磁放大器，

所述磁懸浮控制部基于將由所述第一信號處理部生成的信號成分與所述位移信號相加所得的信號，生成所述電流控制信號，

所述勵磁放大器基于將由所述第二信號處理部生成的信號成分與由所述磁懸浮控制部生成的所述電流控制信號相加所得的信號，生成所述控制電流。

4.根據權利要求1或2所述的磁軸承裝置，其特征在于：

所述電流控制部基于將由所述第一信號處理部生成的信號成分及由所述第二信號處理部生成的信號成分與所述位移信號相加所得的信號，生成所述控制電流。

5.一種轉子旋轉驅動裝置，其特征在于包括：

根據權利要求3所述的磁軸承裝置；

無傳感器馬達，使受到所述磁軸承裝置磁懸浮支撐的轉子旋轉驅動；

馬達控制部，控制所述無傳感器馬達；以及

現場可編程門陣列電路，至少安裝有所述馬達控制部及所述磁軸承裝置的信號處理部。