[發明專利]壓印掩膜版及納米壓印方法在審
| 申請號： | 201610596067.5 | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN105974732A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 周婷婷;姚繼開;關峰;王英濤;何曉龍;張斌 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;張天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓印 掩膜版 納米 方法 | ||
【權利要求書】：
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