[發(fā)明專利]激光處理裝備中用于減少斑紋的設備和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610595941.3 | 申請日： | 2012-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN106141428B | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發(fā)明（設計）人： | 斯蒂芬·莫法特 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | G02B27/48 | 分類號： | G02B27/48;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 處理 裝備 用于 減少 斑紋 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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