[發明專利]紫外感光鈮酸鋰溶膠及其薄膜微細圖形的制備方法有效
| 申請號： | 201610595330.9 | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN106048570B | 公開（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發明（設計）人： | 趙高揚;王婷 | 申請（專利權）人： | 西安理工大學 |
| 主分類號： | C23C20/08 | 分類號： | C23C20/08 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人： | 談耀文 |
| 地址： | 710048*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外 感光 鈮酸鋰 溶膠 及其 薄膜 微細 圖形 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C20-00 通過固態覆層化合物抑或覆層形成化合物懸浮液分解且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C20-02 .鍍金屬材料
C23C20-06 .鍍金屬材料以外的無機材料
C23C20-08 ..鍍化合物、混合物或固溶體，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..鍍金屬
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C20-00 通過固態覆層化合物抑或覆層形成化合物懸浮液分解且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C20-02 .鍍金屬材料
C23C20-06 .鍍金屬材料以外的無機材料
C23C20-08 ..鍍化合物、混合物或固溶體，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..鍍金屬
