[發明專利]一種高摻雜的硅微諧振式加速度計在審
| 申請號： | 201610594830.0 | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN107656094A | 公開（公告）日： | 2018-02-02 |
| 發明（設計）人： | 趙虎;李鵬飛;閆鑫;王淞立;李逸倫;任伶 | 申請（專利權）人： | 中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所 |
| 主分類號： | G01P15/097 | 分類號： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中國航空專利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710065 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 摻雜 諧振 加速度計 | ||
【權利要求書】：
1.一種高摻雜的硅微諧振式加速度計，所述加速度計的結構層為硅材料，其特征為：硅材料的摻雜濃度大于等于1×1018cm-3。
2.根據權利要求1所述的一種高摻雜的硅微諧振式加速度計，其特征為：硅材料的摻雜濃度大于等于1×1019cm-3。
3.根據權利要求1所述的一種高摻雜的硅微諧振式加速度計，其特征為：硅材料的摻雜濃度大于等于1×1020cm-3。
4.根據權利要求1所述的一種高摻雜的硅微諧振式加速度計，其特征為：硅材料的摻雜濃度為(1.8～2.2)×1020cm-3。
5.根據權利要求1所述的一種高摻雜的硅微諧振式加速度計，其特征為：硅材料的摻雜濃度為2×1020cm-3。
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