[發明專利]一種微機械直流電機定子的制備方法在審
| 申請號： | 201610594826.4 | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN107659076A | 公開（公告）日： | 2018-02-02 |
| 發明（設計）人： | 王永;紀引虎;何福林;牛昊彬 | 申請（專利權）人： | 中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所 |
| 主分類號： | H02K15/02 | 分類號： | H02K15/02 |
| 代理公司： | 中國航空專利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710065 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微機 直流電機 定子 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種微機械直流電機定子的制備方法，其特征在于所述的方法包括如下步驟：
步驟一，在原材料上加工溝槽；
步驟二，對加工有溝槽的原材料覆蓋種子層；
步驟三，對步驟二得到的中間品進行交流電鑄，直至將溝槽填滿銅材料；
步驟四，將電鑄完成后得到的中間品進行機械研磨拋光，直至溝槽外部的銅材料完全去除。
2.根據權利要求1所述的一種微機械直流電機定子的制備方法，其特征在于，通過以下步驟加工溝槽：首先對原材料進行氧化，形成二氧化硅膜層，通過光刻的方法在原材料表面制作定子所需的溝槽圖形；然后，對暴露出來的二氧化硅膜層進行刻蝕，去除掉光刻膠，以剩余的二氧化硅膜層作為掩膜，通過深刻蝕方法得到溝槽。
3.根據權利要求1所述的一種微機械直流電機定子的制備方法，其特征為：溝槽的深寬比為2～2.5：1。
4.根據權利要求1所述的一種微機械直流電機定子的制備方法，其特征為：種子層為銅材料。
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